光電薄膜實驗室

所在位置 機械館3F
管理教師 盧鴻華老師
實驗室設備

    掃瞄式探針顯微鏡(Scanning Probe Microscope)
    積體電路探針台系統(Probe Station)

  • 積體電路專用顯微鏡
  • 彩色CCD
  • 彩色監視螢幕
  • 微探針操縱台座
  • 數位式電源供應器
  • 光學影像彩色拷貝機
  • 8吋吸盤式X.Y. Z 精密載物平台組

    • 光學影像處理分析系統(Matrix 3.1 Inspector)

  • 雙管式光纖光源
  • 光纖影像傳輸系統
  • 變焦長工作距顯微鏡
  • X-Y精密微調滑台
  • 彩色CCD
  • 電腦
  • 影像處理列印機

    • 微小高溫加熱爐(Heating Stage)

  • 可程式控制器
  • 冷卻幫浦
  • 液態氮冷卻桶

    • 精密雷射位移計(Keyence LC-2400A)

  • 長期資料擷取器
  • 顯示面板/控制器
  • 顯微鏡觀測台

    • 面電阻四點探針(Four-point Probe)

    晶圓週邊器具

  • 單片、多片急迫片晶圓盒
  • 晶圓切割刀
  • 乾燥防塵櫃
  • 金屬/吸盤式晶片夾子

    • 精密微拉伸試驗機

    高溫氣氛燒結爐

    加熱冷卻平台液態氣桶

    積體電路專用顯微鏡

    濺鍍源系統

    傳真系統

    MEMS PRO軟體

  • ANSYS軟體
  • AutoCAD軟體
  • NASTRAN軟體
  • MATLab軟體
  • 掃描器
  • 雷射及噴墨印表機
  • 個人電腦
  • 光碟燒錄器
  • DVD錄放影機

    • 水冷卻機

    溫度校正表及電偶

    高溫氣氛熱處理設備

    一對一分離式冷氣機

    防止隔間牆板