表面處理實驗室
| 所在位置 |
機械館B1 |
| 管理教師 |
張子欽老師 |
| 實驗室簡介 |
本實驗室研究範圍包括有：
- 銅銦鎵二硒(Cu(InGa)Se2)薄膜太陽能電池
- 氮化物薄膜結構特性研究
- 氧化鋅及摻雜Al、Ga薄膜結構研究
- 無鎘緩衝層之製備
- 高熵合金薄膜
- CNC五軸加工
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| 實驗室設備 |
- 脈衝直流電漿產生器
- 磁控濺鍍源基座
- 磁控濺鍍鎗
- 偏壓型基板旋轉加熱系統
- 單盤無刷馬達研磨拋光機
- 研磨機暨磨耗量測系統
- 表面處理及分度盤系統
- 真空計
- 質量流量控制器
- 電磁加熱攪拌器
- 磁控濺鍍源
- 薄膜殘留應力量測系統
- 磁控濺機真空錶
- 表面電漿控制薄膜製程設
- 高功率電源供應器
- 高功率電源供應器
- 薄膜表面相變化處理系統
- 一般型電腦含25吋螢幕
- 一對一分離式冷氣機
- 一對二分離式冷氣機
- 17吋液晶顯示器
- 檯燈
- 防潮箱
- 加熱攪拌器
- 萬能夾具
- 溫度探棒
- 銑刀刀具夾頭
- 19吋液晶顯示器
- 外接式硬碟
- 顯示卡
- 資料櫃
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