光電薄膜實驗室

所在位置	機械館3F
管理教師	盧鴻華老師
實驗室設備	掃瞄式探針顯微鏡(Scanning Probe Microscope) 積體電路探針台系統(Probe Station) 積體電路專用顯微鏡彩色CCD 彩色監視螢幕微探針操縱台座數位式電源供應器光學影像彩色拷貝機 8吋吸盤式X.Y. Z 精密載物平台組光學影像處理分析系統(Matrix 3.1 Inspector) 雙管式光纖光源光纖影像傳輸系統變焦長工作距顯微鏡 X-Y精密微調滑台彩色CCD 電腦影像處理列印機微小高溫加熱爐(Heating Stage) 可程式控制器冷卻幫浦液態氮冷卻桶精密雷射位移計(Keyence LC-2400A) 長期資料擷取器顯示面板/控制器顯微鏡觀測台面電阻四點探針(Four-point Probe) 晶圓週邊器具單片、多片急迫片晶圓盒晶圓切割刀乾燥防塵櫃金屬/吸盤式晶片夾子精密微拉伸試驗機高溫氣氛燒結爐加熱冷卻平台液態氣桶積體電路專用顯微鏡濺鍍源系統傳真系統 MEMS PRO軟體 ANSYS軟體 AutoCAD軟體 NASTRAN軟體 MATLab軟體掃描器雷射及噴墨印表機個人電腦光碟燒錄器 DVD錄放影機水冷卻機溫度校正表及電偶高溫氣氛熱處理設備一對一分離式冷氣機防止隔間牆板

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